• X、Y和Z轴的最大行程4mm;
• 挠性设计,确保平滑连续运动和长期稳定性;
• 顶板带凹槽,确保多轴位移台配件的对准;
• 紧凑尺寸:112.0mm*112.0mm,不包括驱动器;
• 采用SM13/SM25游标测微头,游标刻度理论精度10μm;
• 采用DRP系列差分调节器,游标刻度理论精度<1μm; 所有调节器都均接驳到共用的基部底座,将串扰降到最低;
• 模块化的设计允许拆卸和更换外置促动器;
• 适用于专业光纤耦合系统、光纤对准或波导定位系统;
我们的三轴Nano X3系列位移台的模块化设计允许在任何时候拆卸和更换驱动器。所有驱动器都直接耦合在底部,将系统中运动串扰降到最低。平行挠性设计确保了精确、平滑、连续的运动,摩擦可以忽略。我们提供内置压电驱动版本。
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手动三轴挠性位移台 |
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型号 |
Nano X3-MA |
Nano X3-MB |
Nano X3-MC2 |
Nano X3-MD |
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调节器 |
SM13测微头 |
SM25测微头 |
DRP-C差分调节器 |
DRL51-C差分调节器 |
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粗调进给量 |
500μm/圈 |
500μm/圈 |
500μm/圈 |
500μm/圈 |
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精调进给量 |
/ |
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230μm,≈42μm/圈 |
230μm,≈42μm/圈 |
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理论精度 |
/ |
10μm |
粗调10μm,精调<1μm |
粗调10μm,精调<1μm |
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重量 |
781.6g |
946.5g |
879.1g |
899.2g |
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规格 |
112.0*112.0*62.5mm(不含驱动器) |
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顶板尺寸 |
60.0*60.0mm |
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可调行程 |
XYZ轴4mm |
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材质 |
7075铝合金 |
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压电三轴挠性位移台 |
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型号 |
Nano X3-MP |
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可调行程 |
4mm(粗调); 20µm(压电驱动器) |
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调节器 |
SM13游标测微头、压电驱动器 |
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控制方式 |
开环 |
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电压范围 |
0-75V |
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理论分辨率 |
20nm |
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双向重复性 |
200nm |
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给进量 |
10μm/分度,500μm/转 |
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重量 |
828.0g |





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