光机组件
Optical and mechanical components
笼式系统
CAGE SYSTEMS
透镜套筒系统
Lens sleeve
光机轨道
Optical mechanical track
光学平台/面包板
OPTICAL PLATFORMS
实验光源
EXPERIMENT LIGHT SOURCES
运动控制
MOTION CONTROL
光学显微成像
optical Microimaging
传感器/电控
Sensor/Electronic Control
光纤类
Fiber optic components
应用组合
Application portfolio
光学元件
OPTICAL CPMPONENTS
振镜扫描系统
低漂移系列
Low drift series
我们的三轴Nano X3系列位移台的模块化设计允许在任何时候拆卸和更换驱动器。所有驱动器都直接耦合在底部，将系统中运动串扰降到最低。平行挠性设计确保了精确、平滑、连续的运动，摩擦可以忽略。我们提供内置压电驱动版本。
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手动三轴挠性位移台 |
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型号 |
Nano X3-MA |
Nano X3-MB |
Nano X3-MC2 |
Nano X3-MD |
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调节器 |
SM13测微头 |
SM25测微头 |
DRP-C差分调节器 |
DRL51-C差分调节器 |
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粗调进给量 |
500μm/圈 |
500μm/圈 |
500μm/圈 |
500μm/圈 |
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精调进给量 |
/ |
/ |
300μm，50μm/圈 |
300μm，50μm/圈 |
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理论精度 |
/ |
10μm |
粗调10μm，精调1μm |
粗调10μm，精调1μm |
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重量 |
781.6g |
946.5g |
879.1g |
899.2g |
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规格 |
112.0*112.0*62.5mm（不含驱动器） |
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顶板尺寸 |
60.0*60.0mm |
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可调行程 |
XYZ轴4mm |
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材质 |
7075铝合金 |
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压电三轴挠性位移台 |
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型号 |
Nano X3-MP |
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可调行程 |
4mm(粗调); 20µm(压电驱动器) |
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调节器 |
SM13游标测微头、压电驱动器 |
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控制方式 |
开环 |
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电压范围 |
0-75V |
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理论分辨率 |
20nm |
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双向重复性 |
200nm |
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给进量 |
10μm/分度，500μm/转 |
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重量 |
828.0g |
