产品说明
• X、Y和Z轴的最大行程4mm；
• 挠性设计，确保平滑连续运动和长期稳定性；
• 顶板带凹槽，确保多轴位移台配件的对准；
• 紧凑尺寸：112.0mm*112.0mm，不包括驱动器；
• 采用SM13/SM25游标测微头，游标刻度理论精度10μm；
• 采用PSM8A差分调节器，游标刻度理论精度2μm；
• 所有调节器都均接驳到共用的基部底座，将串扰降到最低；
• 模块化的设计允许拆卸和更换外置促动器；
• 适用于专业光纤耦合系统、光纤对准或波导定位系统；
我们的三轴Nano X3系列位移台的模块化设计允许在任何时候拆卸和更换驱动器。所有驱动器都直接耦合在底部，将系统中运动串扰降到最低。平行挠性设计确保了精确、平滑、连续的运动，摩擦可以忽略。我们提供内置压电驱动版本。
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手动三轴挠性位移台 |
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型号 |
Nano X3-MA |
Nano X3-MB |
Nano X3-MC |
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调节器 |
SM13 |
SM25 |
PSM8A |
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可调行程 |
4mm |
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进给量 |
500μm/转，使用游标刻度10µm为增量 |
粗调：0.35mm/圈；精调：2μm/转（使用游标刻度） |
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重量 |
781.6g |
946.5g |
823.1g |
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压电三轴挠性位移台 |
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型号 |
Nano X3-MP |
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可调行程 |
4mm(粗调); 20µm(压电驱动器) |
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调节器 |
SM13游标测微头、压电驱动器 |
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控制方式 |
开环 |
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电压范围 |
0-75V |
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理论分辨率 |
20nm |
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双向重复性 |
200nm |
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给进量 |
10μm/分度，500μm/转 |
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重量 |
828.0g |
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